标准型探针台可兼容dc测试、射频、高频、微波测试 直流到高频
产品特点：
xy高精度大行程平台调节，z轴快速升降，u型面板设计，结构稳定
可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等… 本图中搭配变焦比12x的单筒视频显微镜、bt-100型探针座，用于安装高频探针及线缆使用探针座可根据移动精度选择，吸附方式可选磁吸附或真空吸附
显微镜组件带有xyz三方向调节装置，配置连接组件，可安装各类显微镜主体
可升级半自动系统
产品规格：
组件/型号
aps150
显微镜配置
单筒视频显微镜变焦比：12x倍率：380xc-mount视频接口ccd视频成像装置
真空吸附卡盘
6寸不锈钢150mm
主体平台xy移动行程
150mm*150mm
显微镜位移台行程
25mm*25mm
旋转角度
0-30o
z轴行程
5mm
探针台本体
固定式
可放置样品尺寸
5mm*5mm至150mm(6寸)
真空卡盘平坦度
10um
尺寸
580mm*460mm*700mm
重量
60kgw
配置可选项：
* 体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜* 真空吸附加热卡盘（温度：200℃/300℃或其它）* 可选低温制冷卡盘* 低温罩箱（用于充入氮气低温制冷）* 客户定制化移动平台* 气压式显微镜升降调节* 各类dc探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…* 低电容、电流探测装置* 高电压探测装置* 雷射切割装置* ccd或c-mos视频成像装置 
探针夹具* 静音真空泵 * 屏蔽箱* 防振桌* 适配器* 转接头* 电学测试设备* 其它外围组件
如需更多详细技术参数请致电或联系我们

---

深圳市森东宝科技有限公司
肖体春
13410490315
留仙洞工业区关外北区综合楼A栋2楼